粉末坩堝蒸鍍儀

鉻是受歡迎的金屬之一。鉻是一種銀色，有光澤，堅硬，含雜質(zhì)的鉻硬而脆，具有很高的耐腐蝕性。它的熔點為1857℃，密度為7.2g / cm3，。它的名字來自希臘語“chroma"，意思是顏色，因為它的顏色非常豐富。它廣泛用于汽車工業(yè)，形成輪子和保險杠上的閃亮涂層。

熔點（°C）1857   密度（g / cm3）固態(tài)7.19 液體6.9  沸點： 2672.0 ℃  熱導率：90.7W/m.K (300K)  鉻粉末                     鉻顆粒

-熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源、坩堝蒸發(fā)；

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腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；

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泵：前級干泵，分子泵；

- Load Lock

樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；

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工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；

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襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；

-       襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

-       保護樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達到及時遮擋樣品效果；

以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖：

以下是不同真空度 不同鍍膜時間碳紙鍍銅樣品圖

  原樣品沒有鍍膜                        115A 100秒 機械泵

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色

粉末坩堝蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料