非磁性霍爾效應光電真空探針臺 結構與特點

（1）真空腔體：真空度優于6×10^-4Pa。降溫后優于6×10^-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€定性優于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖

（6）系統直流漏電低于1pA

3、含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同，照片僅供參考）

非磁性霍爾效應光電真空探針臺

目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐、CVD供氣系統、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等，主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。